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產品中心

三溫Chuck探針臺卡盤

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設備廠家,公司主要生產半導體控溫冷卻機、高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片等領域的可靠性測試提供整套溫度環境解決方案。三溫Chuck探針臺卡盤

  • 產品型號:GY-CP-8HCV
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-07-08
  • 訪  問  量:5
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價格區間10萬-50萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣


卡盤定制系統
卡盤類型GY-CP-8HCVGY-CP-12HCVGY-CP-SQ3434HCV
配套ChillerGY-PCH-803
GY-PCH-803W
GY-PCH-805
GY-PCH-805W
GY-PCH-803
GY-PCH-803W
GY-PCH-805
GY-PCH-805W
GY-PCH-8010
GY-PCH-8010W
GY-PCH-8010
GY-PCH-8010W
溫度范圍-45℃-200℃-55℃-200℃-45℃-200℃-55℃-200℃-65℃-200℃-65℃-200℃
Chiller電源380 VAC ± 10%,三相(可定制)
Chiller總功率8.5kW12.5kW8.5kW12.5kW27.5kW27.5kW
配套控溫模組DX-CHUCK-3
溫度均勻性土0.5℃
Chuck加熱能力1.5KW@DC48V2.5KW@DC120V3KW@DC48V
Chuck表面處理鍍鎳/鍍金
控溫方式內置多個溫度傳感器,多區控溫,精確PID調節控溫
如有其他需求,可非標定制








三溫Chuck探針臺卡盤是半導體測試領域的溫控承載設備,主要用于探針臺系統中固定晶圓并提供低溫、常溫、高溫三段式準確溫度控制,適配半導體芯片三溫測試需求,是保障芯片性能評估準確性的關鍵部件。

功能與工作原理

該設備通過真空吸附技術穩固固定晶圓,搭載獨立溫控模塊實現三個溫區的分區調控,配合高精度溫度傳感器與閉環控制技術,可準確模擬芯片實際工作溫度環境。無錫冠亞恒溫控溫范圍達-65℃~200℃,控溫精度±0.5℃,溫場均勻性良好,確保晶圓表面溫差小,避免測試數據失真。

應用場景與產品優勢

廣泛應用于8/12英寸晶圓電學測試、車規級芯片可靠性評估、功率器件建模測試等場景。無錫冠亞恒溫產品具備以下特點:

1. 分區溫控設計,支持多溫區協同工作,適配復雜測試需求

2. 優化式真空吸附結構,吸附力均勻穩定,避免晶圓損傷

3. 兼容多種規格晶圓,無需更換配件即可快速切換測試需求

4. 運行數據可記錄導出,便于測試過程追溯與分析

作為專業三溫Chuck探針臺卡盤廠家,無錫冠亞恒溫憑借成熟溫控技術,為半導體測試提供穩定可靠的溫度控制解決方案,助力提升芯片測試效率與數據準確性。



三溫Chuck探針臺卡盤






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